As bombas de vácuo secas assumem principalmente as seguintes formas:
Tipo de lóbulo-gêmeo
O design do tipo de lóbulo duplo é muito semelhante ao da bomba Roots, que é atualmente o tipo mais popular e amplamente utilizado. Na verdade, alguns dos primeiros conceitos para projetos de bombas secas envolviam essencialmente o empilhamento de várias bombas Roots. Esse projeto de vários-estágios resulta em um caminho de fluxo de gás bastante complexo, e cada estágio requer um fluxo substancial de gás nitrogênio para servir tanto como diluente quanto como barreira. Além disso, para atingir um alto grau de vácuo, são necessárias tolerâncias extremamente rigorosas em relação às folgas entre os estágios. Claro, porque este design aumenta a taxa de compressão interna, o seu consumo de energia é relativamente baixo.
Tipo-trilobular
O princípio de funcionamento do tipo tri{0}}lobo é idêntico ao do tipo-gêmeo lóbulo; a única diferença é que, durante uma única rotação, o gás é dividido em três pacotes discretos-em vez de dois, como é o caso do design de-lóbulo duplo. Consequentemente, estes dois designs partilham o mesmo conjunto de vantagens e desvantagens. Para reduzir ainda mais o consumo de energia, alguns fabricantes optam por empregar dois motores CC no mecanismo de acionamento; no entanto, esta abordagem também resulta num binário reduzido e numa capacidade diminuída para reiniciar a bomba. Tal como acontece com o projeto de lóbulo duplo-, cada estágio do projeto de-lóbulo triplo requer um fluxo substancial de gás nitrogênio para executar funções de diluição e isolamento.
Tipo Híbrido (Raízes + Garra)
O design híbrido (Roots + Claw) utiliza um estágio Roots para aumentar a eficiência do bombeamento em níveis de pressão mais baixos, enquanto emprega um estágio Claw para aumentar a eficiência em níveis de pressão mais altos. Seus princípios operacionais fundamentais e caminho de fluxo de gás são idênticos aos dos projetos de tipo-de lóbulo mencionados acima. Alguns fabricantes, entretanto, optam por substituir o estágio final por um design do tipo "estrela"; esta configuração permite que o gás seja dividido em cinco pacotes discretos por rotação-da mesma forma que o design tri-de lóbulo o divide em três. Da mesma forma, em muitas aplicações de processos complexos, cada estágio do projeto híbrido requer um fluxo substancial de gás nitrogênio para servir como diluente e barreira.
Tipo de parafuso de compressão externa
O projeto do tipo parafuso de compressão externo-emprega um par de parafusos equidistantes. Esta configuração minimiza a compressão interna e ao mesmo tempo cria o caminho de fluxo de gás mais curto e simples possível. Consequentemente, o tempo de residência do gás dentro da câmara da bomba é mantido num mínimo absoluto. Embora este projeto incorra em um consumo de energia relativamente maior devido à sua taxa de compressão interna reduzida, ele demonstra estabilidade e confiabilidade excepcionais em uma ampla gama de processos complexos de fabricação de semicondutores. Esse projeto de-estágio único impõe requisitos mínimos e simples em relação ao consumo de nitrogênio, garantindo assim excelente intercambialidade entre vários processos. Em muitos processos limpos, o uso de nitrogênio pode até ser totalmente dispensado.
Bombas de parafuso de compressão interna
Além de utilizar um par de parafusos não{0}}isoparamétricos, os princípios operacionais fundamentais do projeto da bomba helicoidal de compressão interna são altamente semelhantes aos do projeto da bomba helicoidal de compressão externa. A redução contínua do volume entre os parafusos gera compressão interna. Ao facilitar essa compressão interna, esse projeto reduz o consumo de energia a um nível comparável ao das bombas de vários-estágios. No entanto, em muitos processos,-bem como em bombas de-estágios múltiplos-, essa compressão interna é altamente propensa a induzir alterações físico-químicas no gás dentro do corpo da bomba, levando potencialmente à solidificação ou liquefação.
