As bombas de vácuo que operam a velocidades que atingem dezenas de milhares de rotações por minuto são normalmente chamadas de bombas turbomoleculares; seu componente principal é um conjunto de rotor que gira dezenas de milhares de vezes por minuto. Esse projeto faz com que as moléculas de gás se comportem como se fossem atingidas por uma raquete de tênis girando rapidamente, conduzindo-as continuamente em direção à saída da bomba. As bombas turbomoleculares modernas podem atingir velocidades de rotação de até 90.000 RPM-equivalentes a completar 1.500 rotações por segundo.
Vantagens exclusivas das bombas de alto{0}}vácuo
Níveis de vácuo ultra{0}}elevados: os níveis de vácuo máximos atingíveis podem chegar a 10⁻⁸ Pascal-oito ordens de magnitude maiores do que aqueles alcançados por bombas mecânicas padrão.
Limpo e livre de contaminação-: não requer óleo lubrificante, evitando assim o refluxo de vapor de óleo e a subsequente contaminação do ambiente de vácuo.
Bombeamento Rápido: Atinge níveis operacionais de vácuo em apenas três minutos após a inicialização.
Sinergia de vários-estágios: alcança bombeamento altamente eficiente por meio da ação combinada de arrasto molecular e compressão mecânica.
Cenários típicos de aplicação
Na indústria de semicondutores, esses dispositivos são utilizados para processos de revestimento de wafer; na pesquisa científica, eles auxiliam aceleradores de partículas na manutenção de ambientes de ultra-alto vácuo. Os tomógrafos médicos também dependem deles para preservar a integridade do vácuo dos tubos de raios X-, enquanto os detectores infravermelhos em instrumentos de observação astronômica dependem deles para eliminar a interferência de ruído térmico causada por moléculas de ar.
